DOI

Язык оригиналаАнглийский
Страницы (с-по)383-387
Число страниц5
ЖурналSemiconductor Science and Technology
Том8
Номер выпуска3
DOI
СостояниеОпубликовано - мар. 1993

    Предметные области ASJC Scopus

  • Materials Chemistry
  • Electrical and Electronic Engineering

    Предметные области WoS

  • Технологии, Электротехника и электроника
  • Материаловедение, Междисциплинарные труды
  • Физика, Конденсированных сред

ID: 7213886