Программа предназначена для вычисления методом конечных элементов радиуса контактной площадки проводящего зонда сканирующего зондового микроскопа из измеренной зависимости ёмкости системы зонд-заземленный электрод от расстояния от поверхности электрода до зонда. Задаваемые параметры: потенциал зонда, высота и угол наклона зонда, измеренная зависимость емкости системы. Программа может быть использована для определения величины радиуса контактной площадки зонда, определяющего пространственное разрешение метода, и ее изменения в результате сканирования при реализации различных мод сканирующей зондовой микроскопии. Работа выполнена с использованием оборудования УЦКП «Современные нанотехнологии» УрФУ (рег.№ 2968), поддержанного министерством науки и высшего образования РФ (Проект 075-15-2021-677).
Original languageRussian
Patent number2023682555
Priority date16/10/2023
Filing date16/10/2023
Publication statusPublished - 26 Oct 2023

ID: 57027874