DOI

Язык оригиналаАнглийский
Номер статьи106629
ЖурналMaterials Science in Semiconductor Processing
Том145
DOI
СостояниеОпубликовано - июл. 2022

    Предметные области WoS

  • Технологии, Электротехника и электроника
  • Материаловедение, Междисциплинарные труды
  • Физика, Прикладная
  • Физика, Конденсированных сред

    Предметные области ASJC Scopus

  • Materials Science(all)
  • Condensed Matter Physics
  • Mechanics of Materials
  • Mechanical Engineering

ID: 29823362