DOI

Язык оригиналаАнглийский
Номер статьи075021
Число страниц12
ЖурналPlasma Sources Science and Technology
Том30
Номер выпуска7
DOI
СостояниеОпубликовано - июл. 2021

    Предметные области ASJC Scopus

  • Condensed Matter Physics

    Предметные области WoS

  • Физика, Частиц и полей

ID: 22835986