DOI

Язык оригиналаАнглийский
Номер статьи105177
Число страниц6
ЖурналMaterials Science in Semiconductor Processing
Том117
DOI
СостояниеОпубликовано - окт. 2020

    Предметные области ASJC Scopus

  • Condensed Matter Physics
  • Mechanics of Materials
  • Mechanical Engineering
  • Materials Science(all)

ID: 12900917