On the formation of nanocomposite TiC/a-C:H coatings by the method of the magnetron sputtering of Ti in an electron-beam activated Ar/C2H2 mixture

Язык оригинала	Английский
Страницы (с-по)	846-852
Число страниц	7
Журнал	Journal of Surface Investigation. X-ray, Synchrotron and Neutron Techniques
Том	8
Номер выпуска	5
DOI	https://doi.org/10.1134/S1027451014050061
Состояние	Опубликовано - 1 янв. 2014

ID: 331112