DOI

Язык оригиналаАнглийский
Номер статьи105301
Число страниц5
ЖурналMaterials Science in Semiconductor Processing
Том121
DOI
СостояниеОпубликовано - янв. 2021

    Предметные области ASJC Scopus

  • Condensed Matter Physics
  • Mechanics of Materials
  • Mechanical Engineering
  • Materials Science(all)

    Предметные области WoS

  • Технологии, Электротехника и электроника
  • Материаловедение, Междисциплинарные труды
  • Физика, Прикладная
  • Физика, Конденсированных сред

ID: 13655594