CMOS-compatible direct laser writing of sulfur-ultrahyperdoped silicon: Breakthrough pre-requisite for UV-THz optoelectronic nano/microintegration › Обзор исследований

DOI

https://doi.org/10.1016/j.optlastec.2022.108873
Конечная издательская версия

Sergey Kudryashov
Alena Nastulyavichus
George Krasin
Kamil Khamidullin
Kirill Boldyrev
Demid Kirilenko
Alexander Yachmenev
Dmitry Ponomarev
Gennady Komandin
Sergey Lebedev
Dmitry Prikhod'ko
Michael Kovalev

Язык оригинала	Английский
Номер статьи	108873
Журнал	Optics and Laser Technology
Том	158
DOI	https://doi.org/10.1016/j.optlastec.2022.108873
Состояние	Опубликовано - февр. 2023

Предметные области WoS

Оптика
Физика, Прикладная

Предметные области ASJC Scopus

Electronic, Optical and Magnetic Materials
Atomic and Molecular Physics, and Optics
Electrical and Electronic Engineering

ID: 31778992