Композитные покрытия TiC/a-C:H толщиной до 5 мкм были получены реактивным магнетронным распылением титана в газовой смеси Ar-C2H2, которая дополнительно облучалась широким электронным пучком с энергией 100 эВ и током до 1 А. Состав покрытий регулировался изменением потока ацетилена в пределах 1–16 мл/мин при постоянном потоке аргона (40 мл/мин) и токе магнетрона (2 А, 10 мкс, 50 кГц). Исследования методом рентгенофазового анализа и просвечивающей электронной микроскопии высокого разрешения подтвердили формирование наноструктурного покрытия с размером нанокристаллитов TiC от 4 до 9 нм. Микротвердость покрытий немонотонно зависит от величины потока ацетилена. Максимальная микротвердость 30 ГПа получена при атомной концентрации титана в покрытии 38, определенной методом оже-анализа. Установлено, что облучение газовой смеси в процессе нанесения покрытия электронным пучком способствует ускоренному разложению ацетилена и обеспечивает многократное (от 10 до 2 мл/мин) снижение величины потока C2H2, при котором достигается максимум микротвердости покрытия.