Планарные ансамбли многослойных периодических квадратных микроэлементов типа [Cu(6 nm)/FeNi(100 nm)]5 были получены методом ионно-плазменного распыления на стеклянные подложки с использованием сетчатых медных масок. Особенности поверхности микроэлементов анализировались с помощью стилусного профилометра, оптической и сканирующей электронной микроскопии. Статические магнитные свойства и особенности магнитной доменной структуры исследовались с использованием магнитооптического Керр-эффекта. Полученные планарные ансамбли могут использоваться как составная часть пленочных элементов детекторов слабых магнитных полей, работающих на основе магнитного импеданса (МИ), для повышения чувствительности МИ отклика к внешнему магнитному полю.