Работа посвящена решению проблемы прямого определения низких содержаний кремния в урано- вых материалах, обусловленной спектральными наложениями полиатомных ионов и высоким значением «холостого» опыта, методом масс-спектрометрии с индуктивно-связанной плазмой. Показана практическая возможность разрешения спектральных наложений полиатомных ионов и кремния при измерениях, выполненных в режиме высокого разрешения (m/Dm = 4000) на масс- спектрометре «Element-2» и с использованием динамической реакционной ячейки, заполненной аммиа ком, на масс-спектрометре «Elan DRC II». Проведены исследования способов снижения по- правки «холостого» опыта. Изучено влияние операционных параметров работы масс-спектрометра в режиме высокого разрешения и режиме работы ячейки. Исследовано влияние урановой матрицы на аналитический сигнал кремния с m/z = 28. Выполнена оценка пределов обнаружения и характе- ристики случайной составляющей погрешности методики определения содержаний кремния в гекса - фториде урана.