Предложена методика определения полиорганосилоксанов (по кремнию) в воде методом электротермической атомно-абсорбционной спектрометрии высокого разрешения с источником непрерывного спектра (НИ-ВР-ЭТААС) с предварительной экстракцией аналитов бензолом. С использованием образца ливневых вод оптимизированы параметры температурно-временной программы атомизатора. Для устранения химических помех при определении кремния графитовые кюветы модифицированы перманентным модификатором (вольфраматом натрия) с образованием карбидного покрытия. Термическая стабилизация кремния в графитовой печи достигнута в присутствии смешанного палладиево-магниевого модификатора в нитратной форме. Разработанный способ анализа применен для определения полиорганосилоксанов (по кремнию) в образцах природных вод: точность результатов анализа подтверждена методом добавок. Оценены метрологические характеристики методики для диапазона определяемых содержаний кремния 0,01 - 100 мг/дм3.