Представлены экспериментальные результаты атомно-пространственного изучения радиационного дефектообразования в приповерхностных объемах материалов, инициированных нейтронным облучением --- Pt: E>0.1 MeV и ионной имплантацией --- Cu3Au: E=40 keV, F=1016 ion/m2, j=10-3 A/сm2. Приведены количественные оценки размеров, формы и объемной доли каскадов атомных смещений, образующихся при различных видах облучения в приповерхностных слоях материалов. Показано, что средний размер радиационных кластеров после облучения платины до флюенса быстрых нейтронов 6.7·1022 m-2 (E>0.1 MeV) имел величину порядка 3.8 nm. Экспериментально установленный средний размер радиационного кластера (разупорядоченной зоны) в сплаве после ионного облучения составил величину 4x4x1.5 nm.