Методом молекулярной динамики изучена бомбардировка пленки меди на графене кластерами Ar13 с кинетической энергией 20 эВ и углами падения = 75°, 60° и 45°. Полная очистка листа графена от меди достигалась только при = 45°. В этом случае более высокие значения имеют горизонтальная и вертикальная компоненты коэффициента самодиффузии Cu в пленке в ходе всей бомбардировки. Подвижность атомов C и напряжения в листе графена слабо зависят от угла падения кластеров. Шероховатость поверхности очищающегося листа графена существенно увеличивается только на заключительной стадии очистки.