Были разработаны, получены и экспериментально исследованы тонкие пленки FeNi толщиной 100 нм и ансамбли периодических квадратных микроэлементов (размеры отдельных элементов 50, 70 и 300 мкм), расположенных в одной плоскости. Сравнительно анализируются структура, статические магнитные свойства и особенности ферромагнитного резонанса пленочных ансамблей, созданных методом ионно-плазменного распыления с использованием масок. Предполагается, что подобные магнитные структуры могут входить в состав многослойных сенсорных элементов с высоким гигантским магнитным импедансом, повышая их чувствительность к магнитному полю.