На основании результатов, полученных методом полевой ионной микроскопии, проведен анализ механизмов радиационно-индуцированного эффекта наноструктуризации приповерхностных объемов металлов. Предполагается, что модификация приповерхностного объема металлов в нанометровом диапазоне при взаимодействии с пучками заряженных частиц Ar+ происходит за счет нескольких механизмов. В частности, при флюенсе F=1016 ion/cm2 (E=30 keV) основной вклад вносит эффект каналирования. Увеличение флюенса на порядок приводит к превалированию деформационного механизма при образовании наноструктурированных состояний в приповерхностном объеме металла.