Изобретение относится к области изготовления многослойных магнитных пленочных материалов и может быть использовано в технологии получения сред для записи информации или при производстве датчиков. Способ получения многослойных магнитных пленок включает ионно-плазменное напыление, по крайней мере, двух основных слоев из одного и того же магнитного материала и прослойки между ними из магнитного материала, отличного от материала основных слоев, при этом основные слои напыляют из магнитомягкого материала толщиной, не превышающей толщину возникновения закритического состояния, а выбор материала прослойки осуществляют путем отбора магнитных материалов, абсолютная величина интеграла обменного взаимодействия у которых ниже, чем у материала основных слоев, ранжирования их по степени убывания по указанному параметру, выполнения напыления с прослойками из материалов с заданным шагом измерения коэрцитивной силы, Hc, сравнения полученных значений с заданным значением Hc для многослойной пленки, при этом при получении значений, отличных от заданного, шаг для выбора ранжированных материалов уменьшают и процесс напыления, измерения значений Hc и сравнения с заданным значением повторяют, а напыление прослойки осуществляют из материала со значением Hc, соответствующим заданному значению. Изобретение направлено на расширение технологических возможностей при ионно-плазменном напылении, сокращение временных затрат.
Переведенное названиеPRODUCTION OF LAMINAR MAGNETIC FILMS: patent of invention
Язык оригиналаРусский
Номер патента2572921
IPCC23C 14/34,G11B 5/66,B82B 3/00
Дата подачи заявки14/11/2013
СостояниеОпубликовано - 20 янв. 2016

    ГРНТИ

  • 29.19.00 Физика твердых тел

ID: 12120689