Учебно-методическое пособие составлено на основе курса лекций «Исследование материалов микро- и наноэлектроники», читаемого магистрам направления 11.04.04 «Электроника и наноэлектроника» в Уральском федеральном университете имени первого Президента России Б. Н. Ельцина. Рассмотрены основные функциональные и конструкционные наноматериналы. Представлены методы их получения и области применения, а также описаны их основные свойства. Пособие предназначено для студентов, аспирантов и специалистов, изучающих материалы микро- и наноэлектроники.