Учебное пособие предназначено для студентов, обучающихся по направлениям 11.03.04, 11.04.04 «Электроника и наноэлектроника», аспирантов и научных работников. В настоящем учебном пособии рассмотрены основные способы электро-физической обработки материалов, применяемые на практике. Изложены основные физические принципы работы электрофизических установок. Рассмотрены основы устройства электрофизических установок, представлены схемы типичных устройств для электрофизического воздействия. Рассмотрены некоторые области современной техники и конкретные технологии, где применяются высокое напряжение и ультракороткие импульсы. Учебное пособие может быть использовано для студентов и аспирантов физических специальностей, в том числе по курсам «Электрофизические методы обработки материалов», «Актуальные проблемы современной электроники больших мощностей», «Импульсные процессы и импульсная техника».