Определение низких содержаний фосфора в пробах разнообразного состава наиболее часто проводят различными спектроскопическими методами анализа с использованием техник электротермического испарения (ЭТИ) и электротермической атомизации (ЭТА). В статье, учитывая общность термохимических процессов преобразования веществ в этих устройствах от исходной пробы до частицы, генерирующей аналитический сигнал, сопоставлено по операционным условиям анализа и достигаемым аналитическим характеристикам большое количество уже применяемых спектроскопических методов определения фосфора. Наиболее полное сопоставление проведено для атомно-абсорбционного анализа с ЭТА и молекулярно-абсорбционного анализа с ЭТИ без использования и с введением в ЭТА и ЭТИ различных химических модификаторов. Рассмотрены возможные пути потерь фосфора на стадии пиролиза, механизмы его атомизации и образования молекулярных соединений при электротермической атомизации и электротермическом испарении. Основное внимание уделено эффективности действия химических модификаторов (повышению температуры стадии пиролиза, улучшению чувствительности и точности определений, снижению фоновых помех и др.): нитратов лантана и палладия, фторидов (HF, NaF, KF, CsF и NH4F) и некоторых других химических веществ. Рассмотрены экспериментально доказанные и предполагаемые механизмы действия различных химических модификаторов, проявляемые при определении фосфора. Отмечена перспективность применения атомно-абсорбционных спектрометров высокого разрешения с непрерывным источником спектра для определения фосфора по его атомному или молекулярному поглощению, для эффективного учета фонового поглощения.