Standard

Плазменно-пучковые технологии. В 2 частях : Часть 1. Физические основы процессов взаимодействия ускоренных частиц с твердым телом: учебное пособие. / Каменецких, Александр Сергеевич; Кайгородов, Антон Сергеевич; Чолах, Сеиф Османович (Editor) et al.
Издательство Уральского университета, 2024. 84 p.

Research output: Book/Report › Scholarly edition › peer-review

Harvard

Каменецких, АС, Кайгородов, АС, Чолах, СО (ed.) & Кащенко, МП 2024, Плазменно-пучковые технологии. В 2 частях : Часть 1. Физические основы процессов взаимодействия ускоренных частиц с твердым телом: учебное пособие. Издательство Уральского университета. <https://elar.urfu.ru/handle/10995/132551>

APA

Каменецких, А. С., Кайгородов, А. С., Чолах, С. О. (Ed.), & Кащенко, М. П. (2024). Плазменно-пучковые технологии. В 2 частях : Часть 1. Физические основы процессов взаимодействия ускоренных частиц с твердым телом: учебное пособие. Издательство Уральского университета. https://elar.urfu.ru/handle/10995/132551

Vancouver

Каменецких АС, Кайгородов АС, Чолах СО, (ed.), Кащенко МП. Плазменно-пучковые технологии. В 2 частях : Часть 1. Физические основы процессов взаимодействия ускоренных частиц с твердым телом: учебное пособие. Издательство Уральского университета, 2024. 84 p.

Author

Каменецких, Александр Сергеевич ; Кайгородов, Антон Сергеевич ; Чолах, Сеиф Османович (Editor) et al. / Плазменно-пучковые технологии. В 2 частях : Часть 1. Физические основы процессов взаимодействия ускоренных частиц с твердым телом : учебное пособие. Издательство Уральского университета, 2024. 84 p.

BibTeX

@book{61e63c7a3c744285a7e2ac4a8399db73,
title = "Плазменно-пучковые технологии. В 2 частях : Часть 1. Физические основы процессов взаимодействия ускоренных частиц с твердым телом: учебное пособие",
abstract = "Рассмотрены основные физические процессы, происходящие при взаимодействии ускоренных частиц с твердыми телами. Изложены основные физические принципы ионной имплантации, распыления твердых тел. Рассмотрены основы взаимодействия электронов с веществом, а также даются примеры применения электронных пучков для обработки материалов. Учебное пособие предназначено для бакалавров и магистров, обучающихся по направлениям 11.03.04, 11.04.04 «Электроника и наноэлектроника», а также для студентов и аспирантов, обучающихся по физическим специальностям, изучающих курсы «Плазменно-пучковые технологии», «Взаимодействие излучения с веществом», «Электрофизические методы обработки материалов», «Актуальные проблемы современной электроники больших мощностей».",
author = "Каменецких, {Александр Сергеевич} and Кайгородов, {Антон Сергеевич} and Кащенко, {Михаил Петрович}",
editor = "Чолах, {Сеиф Османович}",
note = "учебное пособие в 2 частях : Рекомендовано методическим советом Уральского федерального университета для студентов вуза, обучающихся по направлениям подготовки 11.03.04, 11.04.04 — Электроника и наноэлектроника Часть 1 Физические основы процессов взаимодействия ускоренных частиц с твердым телом",
year = "2024",
language = "Русский",
isbn = "978-5-7996-3822-1",
publisher = "Издательство Уральского университета",
address = "Российская Федерация",

}

RIS

TY - BOOK

T1 - Плазменно-пучковые технологии. В 2 частях : Часть 1. Физические основы процессов взаимодействия ускоренных частиц с твердым телом

T2 - учебное пособие

AU - Каменецких, Александр Сергеевич

AU - Кайгородов, Антон Сергеевич

A2 - Чолах, Сеиф Османович

A2 - Кащенко, Михаил Петрович

N1 - учебное пособие в 2 частях : Рекомендовано методическим советом Уральского федерального университета для студентов вуза, обучающихся по направлениям подготовки 11.03.04, 11.04.04 — Электроника и наноэлектроника Часть 1 Физические основы процессов взаимодействия ускоренных частиц с твердым телом

PY - 2024

Y1 - 2024

N2 - Рассмотрены основные физические процессы, происходящие при взаимодействии ускоренных частиц с твердыми телами. Изложены основные физические принципы ионной имплантации, распыления твердых тел. Рассмотрены основы взаимодействия электронов с веществом, а также даются примеры применения электронных пучков для обработки материалов. Учебное пособие предназначено для бакалавров и магистров, обучающихся по направлениям 11.03.04, 11.04.04 «Электроника и наноэлектроника», а также для студентов и аспирантов, обучающихся по физическим специальностям, изучающих курсы «Плазменно-пучковые технологии», «Взаимодействие излучения с веществом», «Электрофизические методы обработки материалов», «Актуальные проблемы современной электроники больших мощностей».

AB - Рассмотрены основные физические процессы, происходящие при взаимодействии ускоренных частиц с твердыми телами. Изложены основные физические принципы ионной имплантации, распыления твердых тел. Рассмотрены основы взаимодействия электронов с веществом, а также даются примеры применения электронных пучков для обработки материалов. Учебное пособие предназначено для бакалавров и магистров, обучающихся по направлениям 11.03.04, 11.04.04 «Электроника и наноэлектроника», а также для студентов и аспирантов, обучающихся по физическим специальностям, изучающих курсы «Плазменно-пучковые технологии», «Взаимодействие излучения с веществом», «Электрофизические методы обработки материалов», «Актуальные проблемы современной электроники больших мощностей».

UR - https://www.elibrary.ru/item.asp?id=66969945

M3 - Учебное издание

SN - 978-5-7996-3822-1

SN - 978-5-7996-3823-8 (ч. 1)

BT - Плазменно-пучковые технологии. В 2 частях : Часть 1. Физические основы процессов взаимодействия ускоренных частиц с твердым телом

PB - Издательство Уральского университета

ER -

ID: 57321902