Эпитаксиальные сверхрешетки Dy/Gd, были успешно синтезированы методом высоковакуумного магнетронного распыления, исследованы их структурные и магнитные свойства. Обсуждаются оптимальные условия роста эпитаксиальных редкоземельных сверхрешеток методом магнетронного распыления (в отличие от традиционной молекулярно-лучевой эпитаксии), включая выбор монокристаллических подложек, буферных слоев, температурные и скоростные режимы роста. Подробно изучены структурные особенности сверхрешеток, содержащих 10 и более атомных монослоев Dy и проанализировано их влияние на магнитные свойства.