Standard

Выбор режимов одностадийной высокопроизводительной печати серебряных проводящих дорожек на поверхности кремния методом лазерного переноса. / Настулявичус, Алена Александровна; Кудряшов, Сергей Иванович; Смирнов, Никита Александрович et al.
In: Оптический журнал, Vol. 91, No. 2, 2024, p. 99-111.

Research output: Contribution to journal › Article › peer-review

Harvard

Настулявичус, АА, Кудряшов, СИ, Смирнов, НА, Пахольчук, ПП, Шелыгина, СН, Ултургашева, ЕВ, Сараева, ИН, Заярный, ДА, Пряхина, ВИ, Хмеленин, ДН, Емельянова, ОВ, Мин, ФХ & Донг, ФВ 2024, 'Выбор режимов одностадийной высокопроизводительной печати серебряных проводящих дорожек на поверхности кремния методом лазерного переноса', Оптический журнал, vol. 91, no. 2, pp. 99-111. https://doi.org/10.17586/1023-5086-2024-91-02-99-111

APA

Настулявичус, А. А., Кудряшов, С. И., Смирнов, Н. А., Пахольчук, П. П., Шелыгина, С. Н., Ултургашева, Е. В., Сараева, И. Н., Заярный, Д. А., Пряхина, В. И., Хмеленин, Д. Н., Емельянова, О. В., Мин, Ф. Х., & Донг, Ф. В. (2024). Выбор режимов одностадийной высокопроизводительной печати серебряных проводящих дорожек на поверхности кремния методом лазерного переноса. Оптический журнал, 91(2), 99-111. https://doi.org/10.17586/1023-5086-2024-91-02-99-111

Vancouver

Настулявичус АА, Кудряшов СИ, Смирнов НА, Пахольчук ПП, Шелыгина СН, Ултургашева ЕВ et al. Выбор режимов одностадийной высокопроизводительной печати серебряных проводящих дорожек на поверхности кремния методом лазерного переноса. Оптический журнал. 2024;91(2):99-111. doi: 10.17586/1023-5086-2024-91-02-99-111

Author

Настулявичус, Алена Александровна ; Кудряшов, Сергей Иванович ; Смирнов, Никита Александрович et al. / Выбор режимов одностадийной высокопроизводительной печати серебряных проводящих дорожек на поверхности кремния методом лазерного переноса. In: Оптический журнал. 2024 ; Vol. 91, No. 2. pp. 99-111.

BibTeX

@article{e1f6f1f1d5c64570b01705c3d6e32001,
title = "Выбор режимов одностадийной высокопроизводительной печати серебряных проводящих дорожек на поверхности кремния методом лазерного переноса",
abstract = "Предмет исследования. Проводящие дорожки на поверхности монокристаллического кремния. Цель работы. Создание эффективного одностадийного способа формирования токопроводящих элементов электрических цепей на кремнии. Метод. Нанесение проводящего слоя серебра производится посредством метода лазерно-индуцированного прямого переноса с донорной подложки. Подбор параметров лазерного излучения позволил определить оптимальный режим переноса с достижением максимального значения удельной проводимости проводящего слоя. Топография поверхности и химический состав исследовались методами сканирующей и просвечивающей электронной микроскопии, энергодисперсионной рентгеновской и фотоэлектронной спектроскопии. Основные результаты. Максимальная удельная проводимость (около 54 кСм/см (килосименс/сантиметр) была получена при переносе серебряной плёнки лазерным излучением с длиной волны 1064 нм, длительностью импульса 120 нс и плотностью мощности 0,21 ГВт/см2. Скорость сканирования при этом составляла 2000 мм/с, что обеспечивало поступление примерно 2 лазерных импульсов в каждую точку плёнки, в результате чего происходил перенос частиц материала плёнки на кремниевую подложку и их последующее спекание. Практическая значимость. Метод, представленный в работе, может быть использован для формирования токопроводящих элементов электрических цепей с высокой удельной проводимостью в одну стадию при одновременном упрощении технологического процесса их формирования и сокращения его продолжительности.",
author = "Настулявичус, {Алена Александровна} and Кудряшов, {Сергей Иванович} and Смирнов, {Никита Александрович} and Пахольчук, {Петр П.} and Шелыгина, {Светлана Н.} and Ултургашева, {Евгения В.} and Сараева, {Ирина Н.} and Заярный, {Дмитрий А.} and Пряхина, {Виктория Игоревна} and Хмеленин, {Д. Н.} and Емельянова, {О. В.} and Мин, {Ф. Х.} and Донг, {Ф. В.}",
note = "Работа поддержана министерством науки и высшего образования Российской федерации (соглашение № 075-15-2023-603). Работа выполнена с использованием оборудования Уральского центра коллективного пользования «Современные нанотехнологии» Уральского федерального университета (рег. номер 2968), поддержанного Министерством науки и высшего образования РФ и центра коллективного пользования «Структурная диагностика материалов» ФНИЦ «Кристаллография и фотоника» РАН",
year = "2024",
doi = "10.17586/1023-5086-2024-91-02-99-111",
language = "Русский",
volume = "91",
pages = "99--111",
journal = "Оптический журнал",
issn = "1023-5086",
publisher = "Санкт-Петербургский национальный исследовательский университет информационных технологий, механики и оптики",
number = "2",

}

RIS

TY - JOUR

T1 - Выбор режимов одностадийной высокопроизводительной печати серебряных проводящих дорожек на поверхности кремния методом лазерного переноса

AU - Настулявичус, Алена Александровна

AU - Кудряшов, Сергей Иванович

AU - Смирнов, Никита Александрович

AU - Пахольчук, Петр П.

AU - Шелыгина, Светлана Н.

AU - Ултургашева, Евгения В.

AU - Сараева, Ирина Н.

AU - Заярный, Дмитрий А.

AU - Пряхина, Виктория Игоревна

AU - Хмеленин, Д. Н.

AU - Емельянова, О. В.

AU - Мин, Ф. Х.

AU - Донг, Ф. В.

N1 - Работа поддержана министерством науки и высшего образования Российской федерации (соглашение № 075-15-2023-603). Работа выполнена с использованием оборудования Уральского центра коллективного пользования «Современные нанотехнологии» Уральского федерального университета (рег. номер 2968), поддержанного Министерством науки и высшего образования РФ и центра коллективного пользования «Структурная диагностика материалов» ФНИЦ «Кристаллография и фотоника» РАН

PY - 2024

Y1 - 2024

N2 - Предмет исследования. Проводящие дорожки на поверхности монокристаллического кремния. Цель работы. Создание эффективного одностадийного способа формирования токопроводящих элементов электрических цепей на кремнии. Метод. Нанесение проводящего слоя серебра производится посредством метода лазерно-индуцированного прямого переноса с донорной подложки. Подбор параметров лазерного излучения позволил определить оптимальный режим переноса с достижением максимального значения удельной проводимости проводящего слоя. Топография поверхности и химический состав исследовались методами сканирующей и просвечивающей электронной микроскопии, энергодисперсионной рентгеновской и фотоэлектронной спектроскопии. Основные результаты. Максимальная удельная проводимость (около 54 кСм/см (килосименс/сантиметр) была получена при переносе серебряной плёнки лазерным излучением с длиной волны 1064 нм, длительностью импульса 120 нс и плотностью мощности 0,21 ГВт/см2. Скорость сканирования при этом составляла 2000 мм/с, что обеспечивало поступление примерно 2 лазерных импульсов в каждую точку плёнки, в результате чего происходил перенос частиц материала плёнки на кремниевую подложку и их последующее спекание. Практическая значимость. Метод, представленный в работе, может быть использован для формирования токопроводящих элементов электрических цепей с высокой удельной проводимостью в одну стадию при одновременном упрощении технологического процесса их формирования и сокращения его продолжительности.

AB - Предмет исследования. Проводящие дорожки на поверхности монокристаллического кремния. Цель работы. Создание эффективного одностадийного способа формирования токопроводящих элементов электрических цепей на кремнии. Метод. Нанесение проводящего слоя серебра производится посредством метода лазерно-индуцированного прямого переноса с донорной подложки. Подбор параметров лазерного излучения позволил определить оптимальный режим переноса с достижением максимального значения удельной проводимости проводящего слоя. Топография поверхности и химический состав исследовались методами сканирующей и просвечивающей электронной микроскопии, энергодисперсионной рентгеновской и фотоэлектронной спектроскопии. Основные результаты. Максимальная удельная проводимость (около 54 кСм/см (килосименс/сантиметр) была получена при переносе серебряной плёнки лазерным излучением с длиной волны 1064 нм, длительностью импульса 120 нс и плотностью мощности 0,21 ГВт/см2. Скорость сканирования при этом составляла 2000 мм/с, что обеспечивало поступление примерно 2 лазерных импульсов в каждую точку плёнки, в результате чего происходил перенос частиц материала плёнки на кремниевую подложку и их последующее спекание. Практическая значимость. Метод, представленный в работе, может быть использован для формирования токопроводящих элементов электрических цепей с высокой удельной проводимостью в одну стадию при одновременном упрощении технологического процесса их формирования и сокращения его продолжительности.

UR - https://elibrary.ru/item.asp?id=60778196

U2 - 10.17586/1023-5086-2024-91-02-99-111

DO - 10.17586/1023-5086-2024-91-02-99-111

M3 - Статья

VL - 91

SP - 99

EP - 111

JO - Оптический журнал

JF - Оптический журнал

SN - 1023-5086

IS - 2

ER -

ID: 53860432