Маскаева, Л. Н.,
Марков, В. Ф.,
Смирнова, З. И.,
Белоусов, Д. А. &
Юрк, В. М.,
24 Apr 2017, IPC No. H01L 31/18, C30B 29/46, C01G 21/00, C01B 19/00, C03C 17/22, Федеральный институт промышленной собственности, Patent No. 2617350,
31 Dec 2015, Priority No. 2015157402
Research output: Patent